결재 #4 Recipe 변경 PENDING P7
L-12 노광시간 2% 증가 — recipe_change
결재 상태
PENDING
Recipe 변경
SLA 잔여
34h 58m
잔여
마감 06/27 15:57
단계 진행
1 / 2
0 단계 승인 (50%)
우선순위
P7
HOT (최우선)
경과 시간
-11h
발의 06/26 15:57
참조 RECIPE #4
·
발의자 윤시니어
·
2026-06-26 15:57
결재 흐름
단계 1
senior_engineer
윤시니어
Audit Log (영구)
REQUEST
윤시니어
L-12 EUV 노광시간 280→285ms (CD 안정화)
2026-06-26 15:57:06
토론 (0)
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