EQ-C01 CMP #01 RUNNING
L-24 · 24nm
CMP
제조사 Applied Materials
설치 2024-02-01
장비 상태
RUNNING
대기 중
다음 PM
D-5
07/01 23:57
Recipe 자격
0
/0
qualified 상태
최근 Cal 결과
-
이력 없음
예약 대기
0
건
가동 876일
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| CAL | 30 days | 06/01 | 07/01 23:57 D-5 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음