EQ-F03 Furnace #03 RUNNING
L-12 · 12nm
Furnace
제조사 Tokyo Electron
설치 2024-09-05
장비 상태
RUNNING
대기 중
다음 PM
-
예정 없음
Recipe 자격
0
/0
qualified 상태
최근 Cal 결과
-
이력 없음
예약 대기
0
건
가동 659일
PM / Cal 스케줄
스케줄 없음
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음