EQ-F04 Furnace #04 DOWN

L-10 · 10nm Furnace 제조사 Tokyo Electron 설치 2025-01-10
목록
장비 상태
DOWN
대기 중
다음 PM
D-0
06/27 00:57
Recipe 자격
0 /0
qualified 상태
최근 Cal 결과
-
이력 없음
예약 대기
0 건
가동 532일
PM / Cal 스케줄
유형주기마지막다음
CM 0 hours - 06/27 00:57 D-0
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음