EQ-I05 Implanter #05 RUNNING
L-08 · 8nm
Implanter
제조사 Applied Materials
설치 2026-02-10
장비 상태
RUNNING
대기 중
다음 PM
D-19
07/16 01:57
Recipe 자격
0
/0
qualified 상태
최근 Cal 결과
-
이력 없음
예약 대기
0
건
가동 136일
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| CAL | 30 days | 06/16 | 07/16 01:57 D-19 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음