EQ-P05 Probe #05 IDLE
L-08 · 8nm
Probe
제조사 Applied Materials
설치 2026-03-01
장비 상태
IDLE
대기 중
다음 PM
D-8
07/04 09:57
Recipe 자격
0
/0
qualified 상태
최근 Cal 결과
-
이력 없음
예약 대기
0
건
가동 117일
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| PM | 500 lots | - | 07/04 09:57 D-8 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음