L-16 L-16 16nm FinFET
16nm 노드
·
300mm Wafer
·
Class 1
·
전공정
월 캐파
20.0
k WPM
300mm Wafer · 16nm
분기 할당률
0
%
0 / 20,000 WPM
장비 가동률
83.3
%
RUN 5/6 · DOWN 0
진행 Lot
8
lot
7 running · 1 hold
청정도
Class 1
교대 3-shift
장비 (6)
전체 →
| 코드 | 이름 | 타입 | 상태 |
|---|---|---|---|
| EQ-C02 | CMP #02 | CMP | RUN |
| EQ-E05 | Etcher #05 | Etcher | RUN |
| EQ-F02 | Furnace #02 | Furnace | RUN |
| EQ-I03 | Implanter #03 | Implanter | RUN |
| EQ-P03 | Probe #03 | Probe | RUN |
| EQ-S03 | Stepper #03 | Stepper | WARN |
진행 중 Lot (8)
전체 →
| Lot No | 품목 | 상태 | 레이어 |
|---|---|---|---|
| L-1601-0123 | D-16-FF | HOLD | 5/L-16 |
| L-1601-0301 | D-16-FF | RUNNING | 5/L-16 |
| L-1601-0307 | D-16-FFB | RUNNING | 4/L-16 |
| L-1601-0304 | D-16-FF | RUNNING | 7/L-16 |
| L-1601-0302 | D-16-FF | RUNNING | 4/L-16 |
| L-1601-0303 | D-16-FFB | RUNNING | 3/L-16 |
| L-1601-0305 | D-16-FF | RUNNING | 2/L-16 |
| L-1601-0306 | D-16-FFB | RUNNING | 1/L-16 |
2026 Q2 캐파 할당
할당 없음