L-1601-0291 DONE
D-16-FF · L-16 FinFET Logic
L-16 · 16nm
PR-16-FF
L18 · L01-Photo
Wafer 수량
25
매
슬롯 미시드
Layer 진행
18/18
100% 완료
경과일
37
d
시작 05/19
납기 잔여
D+7
목표 06/18
평균 수율
94.0
%
1건 측정
Wafer 슬롯 (0)
Wafer 데이터 없음 (Lot 1~5만 시드 됨)
측정 데이터 (최근)
측정 데이터 없음
가공 이력 (Travel Sheet, 최근 30건)
가공 이력 없음
수율 기록
| 일시 | Recipe | 총 die | 양품 | 수율 | Bin |
|---|---|---|---|---|---|
| 06/18 23:57 | RC-16-L01-P | 400 | 376 | 94.00% | Y1:376 Y2:16 Y3:6 Y4:2 |