PR-24-LG L-24 Logic 12-layer ACTIVE
L-24 · 24nm
12 layers
표준 사이클타임 480.0h
버전 1.0
작성 윤시니어
평균 수율
97.55
%
3건 측정 평균
사이클타임
480.0
h
표준 기준
Step / Layer
3 / 12
전체 공정 단계
활성 레시피
1
/ 1
전체 1종 중
In-Spec
100.0
%
측정 5건
수율 추이 (최근 3건)
target ≥ 95%
장비 타입 분포
3개 step 기준
- Etcher 2 67%
- Stepper 1 33%
Layer 별 시간 · 수율
L1
Process Step (3)
| L | S | 이름 | 장비 | 시간 | 수율 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 1 | L01-Photo | Stepper | 45.0m | 99.50% |
| 1 | 2 | L01-Etch | Etcher | 30.0m | 99.20% |
| 1 | 3 | L01-Strip | Etcher | 15.0m | 99.80% |
레시피 (1)
| 코드 | Step | 버전 | 상태 |
|---|---|---|---|
| RC-24-L01-P | L01-Photo | 1.0 | ACTIVE |