품목
Wafer / Die / Mask / Reticle / Package / Material — 위험물 마킹 + BOM
전체 품목
62
개
Wafer · Die · Mask · Material 등 7유형
BOM 보유
5
품목
구조도 등록 완료
위험물 (HAZ)
8
품목
SDS · 격리 · 환기 점검 필수
유효기간 관리
16
품목
Shelf life 추적 대상
재고 부족
4
품목
안전재고 점검 필요
| 코드 | 품명 | 유형 | 위험 |
|---|---|---|---|
| MT-NH3 | NH3 (암모니아) | 가스 | HAZ |
| MT-WF6 | WF6 (육불화텅스텐) | 가스 | HAZ |
| MT-CMP-S | CMP Slurry | 화학물질 | HAZ |
| MT-COBALT | 코발트 (Co Sputter) | 화학물질 | HAZ |
| MT-HF | HF (불화수소) | 화학물질 | HAZ |
| MT-IPA | IPA (이소프로필알코올) | 화학물질 | HAZ |
| MT-PR | Photoresist | 화학물질 | HAZ |
| MT-RUTH | Ruthenium Precursor | 화학물질 | HAZ |