공정·레시피

Process · Step · Recipe (버전 관리) · Mask Set — 모든 변경은 결재 + 영구 이력
  • 공정 6
  • 레시피 6
  • 마스크 8
L1 MK-08-L01
사용 중
L-08 Layer 01 Mask
Exposure 3%
600 / 18,000 잔여 17,400
ASML 2026-02-20
L1 MK-10-L01
사용 중
L-10 Layer 01 Mask
Exposure 6%
1,100 / 20,000 잔여 18,900
ASML 2025-11-15
L1 MK-12-L01
사용 중
L-12 Layer 01 Mask
Exposure 27%
6,700 / 25,000 잔여 18,300
ASML 2025-05-10
L1 MK-16-L01
사용 중
L-16 Layer 01 Mask
Exposure 14%
4,200 / 30,000 잔여 25,800
ASML 2025-02-20
L1 MK-18-L01
사용 중
L-18 Layer 01 Mask
Exposure 22%
8,800 / 40,000 잔여 31,200
ASML 2024-08-15
L1 MK-24-L01
사용 중
L-24 Layer 01 Mask
Exposure 25%
12,500 / 50,000 잔여 37,500
ASML 2024-06-01
L5 MK-08-L05
사용 중
L-08 Layer 05 Mask
Exposure 2%
280 / 18,000 잔여 17,720
ASML 2026-03-05
L9 MK-08-L09
사용 중
L-08 Layer 09 Mask
Exposure 1%
90 / 18,000 잔여 17,910
ASML 2026-03-25