장비

Stepper · Etcher · CMP · Implanter · Furnace · Probe — PM 자동 룰 + Calibration + Recipe 자격
가동률
76.3 %
RUN 29 / 전체 38
DOWN 장비
1 대
WARN 상태 2대
PM 임박
3 건
72시간 이내 예정
PM 초과
0 건
모두 일정 내
전체 장비
38 대
IDLE 5 · CAL 0 · PM 1
전체 RUN 29 IDLE 5 WARN 2 DOWN 1 PM 1
EQ-C03
CMP #03
RUN
L-12 CMP Applied Materials
EQ-E06
Etcher #06
RUN
L-12 Etcher Lam Research
EQ-E07
Etcher #07
PM
L-12 Etcher Lam Research
EQ-F03
Furnace #03
RUN
L-12 Furnace Tokyo Electron
EQ-I04
Implanter #04
RUN
L-12 Implanter Applied Materials
EQ-P04
Probe #04
RUN
L-12 Probe Applied Materials
EQ-S04
Stepper #04
RUN
L-12 Stepper ASML
다음 PM 07/22 19:57 D-26
EQ-S05
Stepper #05
RUN
L-12 Stepper ASML
다음 PM 07/18 15:57 D-22